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종합정보

보유장비

장비이미지

주사전자현미경(FIB)

Focused Ion Beam

분류
예약가능여부
가능
담당부서
장비표준분류
광학·전자 영상 ▷ 현미경
취득방법
1

세부정보

모델명 LYRA 3 XMH 제작사 TESCAN
제작국가 체코
구성 및 성능 해상도 : In High Vaccum Mode (SE) : 1.2nm at 30KV (SEM) , 5nm at 30KV(FIB)
Magnification: 3 X at 1,000,000 X (SEM) 150 X to 1,000,000 X (FIB)
Coincidence Point : WD = 9mm(SEM), FIB WD = 12mm(FIB)
사용 예 TEM 측정 시편제조, 소자제작, 단편관찰 및 3D Fabrication
전자제품 및 디스플레이 부품 등 정밀 시료 관찰
장비 설명 매우 가늘게 집속한 이온 빔을 시료표면에 주사(scanning)하여 발생한 전자/ 이온을 검출하여 현미경상을 관찰하거나 시료표면을 가공하는 용도
사용료
(1h기준, 원)
0원
설치장소

담당자정보

장비담당자 성명 한정수 휴대폰번호 010-5035-3716
이메일 rbc3716@hoseo.edu